武漢頤光ME-L 穆勒矩陣橢偏儀

一、產品介紹：
1、超寬的光譜范圍：采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍（380-1000nm）支持拓展至200-1650nm
2、雙旋轉補償器調制：高精度旋轉與觸發同步控制，實現高速光譜數據采集
3、全穆勒矩陣測量：基于雙旋轉補償器配置，可一次獲取穆勒矩陣的16個元素，相對于傳統光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息
4、超級消色差補償設計：專利補償器技術，適應從深紫外到近紅外寬光譜范圍內高精度相位調制要求
5、豐富的材料數據庫和算法模型：數百種材料數據庫、多種算法模型庫、涵蓋了目前絕大部分的光學材料
6、向導式交互界面：軟件向導交互式人機界面操作，為用戶提供優質操作體驗
7、納米光柵分析能力：先進分析算法模型實現各種納米光柵結構周期、線寬、線高、側壁角、粗糙度等幾何形貌信息提取
二、技術參數：
基本功能 一次性獲取穆勒矩陣、psi/delta、n/c/s、r/t等光譜
光譜范圍 380-1000nm（210-1650nm可選）
測量時間 1-8s
入射角范圍 45-90°
光斑尺寸 2-3mm/200um
重復性精度 0.005nm(100nmsio2硅片)
精度
（空氣介質） 橢偏參數：ψ=45±0.05° δ=0±0.01°
穆勒矩陣：對角元素m=1±0.005 非對角元素m=0±0.005
分析軟件 多達數百種光學材料庫，支持用戶自定義
多層各向同性/異性光學薄膜、周期性光柵結構建模仿真與分析功能