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氦質譜檢漏設備檢漏過程中,如發現大量氦氣進質譜檢漏儀,應立即移去吸,防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。氦質譜檢漏主要領域:原子能工業——氣體擴散處理系統;高能物理研究院——及其配件;常用的傳統氣體管道檢漏方法,如氣泡法和肥皂法在化工廠等*氣體的管道檢漏不實用,檢測到微漏的氦質譜檢漏儀成為了化工廠安全生產作業的保障。
氦質譜檢漏主要領域:空調制冷工業——壓縮機、冷凝器、蒸發器及閥門等;真空科學與工業——泵、閥門、真空規管以及鍍膜機、真空爐等真空系統;常用的傳統氣體管道檢漏方法,如氣泡法和肥皂法在化工廠等*氣體的管道檢漏不實用,檢測到微漏的氦質譜檢漏儀成為了化工廠安全生產作業的保障。氦質譜檢漏主要領域:電力工業——高壓開關、避雷器、發電廠冷凝器系統;電力工業——電子器件、半導體、傳感器和積成電路;
檢漏步驟為:1.檢查機械泵與羅茨泵連接的波紋管法蘭,自動氦檢設備,很容易由于波紋管法蘭膠圈沒壓好或波紋管焊口損壞造成漏氣,由于機械泵運轉的振動較大,螺栓容易松動,波紋管焊口長時間受振動也會導致裂紋造成漏氣。2.檢查壓差閥或放氣閥進氣口及機械泵、羅茨泵、擴散泵的外殼是否漏氣。放氣閥的電源被忘接或閥的磁感應線圈被燒壞導致閥無法正常關閉也會導致漏氣。
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