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質(zhì)量流量控制器的常見問題
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實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，氣體質(zhì)量流量控制器，當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因?yàn)樵趍fc行業(yè)中，有一種參數(shù)叫cf，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡(jiǎn)稱cf）。而mfc行業(yè)中又把n2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體m。n2的c值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?，分布?.1到1.4左右。cf大于1.00的代表氣體是單原子氣體he(氦)、xe(氙)。和n2相近的氣體有02（氧氣）、h2（氫氣）、f2（氟）等。0.5以下的有sf6、wf6、sicl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡(jiǎn)單的分析其比率，氣體質(zhì)量流量控制器多少錢，用各自的cf值計(jì)算即可。
假設(shè)某臺(tái)mfc是用n2標(biāo)定的，但是實(shí)際流過的氣體是he，氣體質(zhì)量流量控制器公司，實(shí)際的流量比n2多。各個(gè)廠家的he的cf值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說就是he氣相同示數(shù)時(shí)，是n2的1.4倍流量。反過來，如果n2流過he的mfc，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。
因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時(shí)，考慮出廠標(biāo)定cf是否與你的氣源相同。
質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介
質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“mass flow controller”(簡(jiǎn)稱mfc)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
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質(zhì)量流量計(jì)的原理
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目前，國內(nèi)使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)。
其原理如下：“在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對(duì)加熱器，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來測(cè)定流量。”（附：qm=kcpa△t cp定壓比熱容 a測(cè)量管繞組（即加熱系統(tǒng)）與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導(dǎo)系數(shù)； k -------儀表常數(shù)）
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