特種氣體系統的設計與施工

前言：一個工藝技術**的大規模集成電路工廠的硅片制造過程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統的設計與施工方面做一個簡單描述。
一：概念
特氣輸送系統是指：將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制，通過管道、**次污染、穩定的輸送到工藝設備的用氣點。
其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→vmb→用氣點
二：分類
特種氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。
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